燧石號正轟隆隆地開過來呢！

第323章 大師傅，來折騰精度吧

「顧松去滬海了？」

田德宇點了點頭：「說是過去處理流片和工藝的前期工作。我擔心，滬海私底下提什麼條件。」

柳良木沉吟了一會：「避免不了。武湖的基礎確實比別人差，但芯火科技已經確定落戶武湖，我們把該做的工作做好。先把規劃好的地儘快安排程式，把基建工作做好。德宇，明天他的助理和負責籌建的廖總一起過來，這一趟考察，關係到廠區的設計規劃什麼時候能出來，要麻煩你協調好各單位了。」

「我會盯緊的。」

柳良木說道：「暫時先兼著這個工作，你掛帥光電產業帶的規劃，服務好芯火科技的儘快落地。相關課題的科研這一塊，還要組織武湖的科研院所研究一下，能不能儘量多參與一些。這件事關乎中湖百年發展，下一階段還有更重的擔子要交給你。」

田德宇心中一動，平靜地說：「這個事情我一定盡心盡責，不負省裡的重託。」

柳良木停了一下，問道：「顧松有沒有提到，什麼時候回中湖？」

「說是滬海行程結束後，會回燕京一趟，參加完公司年會就回永寧。時間估計是20號左右。」

「只有半個月啊……」柳良木蹙著眉頭，說道，「芯火科技的奠基趕得上這個時間嗎？」

「公司註冊的程式、土地拍賣的程式……我來組織吧。」田德宇估摸了一下，還是點了點頭。

「好，趁此機會，要把光電產業帶的初步規劃思路向領導匯報。王邦元老很重視這個專案，不說今年能投產的話，今年內，芯火科技需要建好。爭取明年這個時候，光電產業帶有一個新的面貌。」

田德宇笑了笑說：「那永寧那邊也需要加把力了。」

柳良木也露出笑容來：「這就看永寧班子的能耐了。顧松是家鄉人，他在中湖的規劃不少。有些能先落地的，可以開始考慮嘛。」

「回頭我和他們聊一聊。」

……

中湖那邊擔心滬海對顧松有其他拉攏的手段，顧松其實一直泡在滬海微電子裝備和華芯國際。

關於浸潤式光刻的技術難題，顧松腦子裡自然有全套解決方案。

不管是浸潤液體的種類，還是浸沒方式、氣泡消除、汙染沉積，都有辦法能夠解決。

但問題是大數值孔徑投影物鏡和偏振光的控制。

這兩個問題，就涉及到整個光刻機中最昂貴最複雜的部件了。

幾十片各種規格的鏡片，每一片都得用高純度透光材料進行高質量拋光，鏡片表面稍微有一點曲度不對，或者鏡片裡的雜質產生衍射折射不對，再聚焦後的影象缺陷會成倍放大。

且不說對鏡片材質和加工精度的事，這玩意，採用傳統的方式，不論鏡頭數量如何堆疊、如何搭配，都難以達到浸潤式光刻所需要的孔徑。

但折反式投影物鏡，就更複雜多了。

顧松倒是能給出圖紙，但問題是現在造不出來。鏡片的研磨、其他零部件加工和組裝的精度，都達不到那個水平。

這玩意，難就難在精度。有人曾打過比喻，說相當於兩架大飛機從起飛到降落，始終齊頭並進。一架飛機上伸出一把刀，在另一架飛機的米粒上刻字，不能刻壞了。

真實的情況比這還要誇張，這可是奈米級的操作，頭髮絲千分之一的尺度啊。

達到這種精度的鏡片，都是手工打磨。一個鏡面的表面被分為數萬個點，每個點的誤差在十位數的奈米級別。

絕對的聖手！

阿斯麥爾也不是萬能的，他也是到處採購最好的零部件，最後整合起來的。但問題是，這些最