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第72部分

物理研究所的胡所長領導的離子注入機事業部,也傳來了喜訊。他們終於研製出了正式的離子注入機裝置。能給沈丹青報來喜訊,當然已經是非常成熟的裝置了。他們還算是運氣好,幸好物理研究所有現成的質量分析器和離子加速器,這兩樣科研裝置。否則如果讓他們從新研究,就不知道要研究到什麼時候了。他們也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

到了此時,就只剩自動檢測程式沒有完成了。沈丹青特意找盧汝成了解了一下,得知他們的任務非常困難,非短時間所能解決。於是他做出了一個決定,讓這套晶片生產裝置開始試製晶片,有什麼問題儘量在生產中發現。用財力促進加速晶片技術的發展。前期的問題肯定很多,這些都是自動檢測程式的寶貴的資料。

沒有自動檢測程式,需要人工檢測,晶片生產速度當然非常慢。就像木桶理論所說的一樣,整個生產速度只能以人工檢測的速度為基準了。不過沈丹青不會在意,對長勝投資集團來說,能用錢解決的問題都不是問題。

用奈米級晶片製造裝置來製造十六位元晶片,難度當然很低了,初次製造,合格率就非常高,達到了53%,不合格的晶片,不是工藝問題,而是化學蝕刻的原因。他們研究的這套化學蝕刻裝置太過簡單了,還缺少許多先進技術。他們用的是原始的自然蝕刻技術,因此造成的蝕邊非常明顯。化學蝕刻就是用化學藥劑,溶解沒有光刻膠保護的矽晶圓或銅互聯層。如果任由它自然蝕刻,就會造成蝕邊。也就是腐蝕了不需要蝕刻的電晶體和銅聯接線的邊。他們因為是第一次研製化學蝕刻裝置,沒有經驗,以為只是一個純粹的化學反應。造出來的蝕刻裝置是最原始的裝置,以前4位元晶片的時候,人們就是使用這種技術。到如今當然已經不適用了。

得到了化學蝕刻出現問題之後,沈丹青非常重視,他立刻召集了相關科研單位商討對策。

說實話,他們是第一次見到這個問題。用化學方法蝕刻這麼微小的圖形,本來就很神奇。現在卻說這種方法不行,要另想辦法。這可真的難住他們了,他們一時也沒有了好辦法。最後還是沈丹青記起了前世的一些書上講過,蝕刻分為溼法蝕刻和幹法蝕刻。因此對他們說:“試試幹法蝕刻,或許要好許多。”

“老闆,什麼是幹法蝕刻?你能祥細的告訴我們嗎?”化學研究所的所長王波就站出來問他。沒辦法誰讓化學蝕刻技術是化學研究所的主要責任呢?

“先宣告啊!我不懂具體原理。我只知道在一定的氣壓壓力下,電漿離子與氧化矽或銅起反應或高速撞擊,使之同樣氣態電離化,然後用抽氣機抽走。又進行同樣的步驟,直至蝕刻出我們需要的圖形。這種方法能減少侵蝕,得到比較陡邊的圖形。應該來說會比溼法蝕刻好得多,也精密得多。不管怎麼樣!大家先試試看吧!”沈丹青將他所知道的隻言片語講了出來,具體的技術和方法就要他們去研究了。

“老闆,具體點,是哪幾種電漿,你知道嗎?”王波以希翼的語氣問他。他自己也知道老闆可能不知道,所以才用這樣的語氣請問他。

“我怎麼知道?我又不是科學家,我只不過是看到書上提到了幾句,具體的原理和方法,還要你們自己去實驗,我是幫不了的。”果然不出王波所料,老闆不知道。而且他還講的理直氣壯,也不知道他是從哪本書上看到的。要知道他們這些專業的科學家都不知道,也真是怪了。老闆經常神神秘秘的,好多的先進技術,都是從他的嘴裡講出來的,雖然只有皮毛,但是起碼有了方向,不再是一無所知。

“大家聽我說,剛才老闆己經為我們指明瞭方向,我們就以這個方向為突破口。我剛才大體考慮了一下,覺得非常可行。許多技術,我們在研製離子注入機的時候己經掌握了。這種新方法,無非是在離子注入